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晶圆为什么是圆的
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之所以晶圆都做成圆形,主要的是考虑
单位
面积利用率和生产问题.。
硅锭被"拉"出来的时候就一定是圆的。几乎不可能直接获得方的硅锭,除非将圆的硅锭切削成方的,但这样无异于浪费。正方形浪费的使用面积比率是比圆型高的。很多晶圆生产设备的工艺原理必然要求选择圆型晶圆,圆型具有任意轴对称性,这是晶圆制作工艺必然的要求,可以想象一下,在圆型晶圆表面可以通过旋转涂布法事实上是目前均匀涂布光刻胶的唯
一方
法,获得很均匀一致的光刻胶涂层。
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晶圆
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