利用光的干涉檢測平整度的原理

檢測平整度用的是空氣劈尖干涉原理。

當光垂直入射時，在工件的上表面和玻璃板的下表面反射的光相干涉，當光波的光程差為波長的整數倍時，形成明條紋，為半波長的奇數倍時，形成暗條紋。而光程差取決於空氣層的厚度，空氣層厚度相同的位置明暗紋情況相同，若工件不平整，則條紋會凸起，向左向右都有可能，關鍵是看不平整的地方是凸起還是凹陷。

手壓玻璃板時，空氣層厚度改變，會使得條紋移動。例如左凸的原因是工件表面有凹陷(凸起)，凹陷(凸起)處空氣層厚度和其左邊工件平面上的空氣厚度相同，所以條紋向左凸。