低真空電子束焊的真空度為

電子槍的真空度高於0.0133Pa而焊接室真空度為1.33~66.65Pa。

低真空電子束焊機（partial vacuum electron beam welder）是指電子槍和焊接室分隔成兩部分。低真空電子束焊是在10-1～10Pa的壓強下進行的。壓強為4Pa時束流密度及其相應的功率密度的最大值與高真空的最大值相差很小。

因此，低真空電子束焊也具有束流密度和功率密度高的特點。由於只需抽到低真空，明顯地縮短了抽真空時間，提高了生產率，適用於批量大的零件的焊接和在生產線上使用。例如：變速器組合齒輪多采用低真空電子束焊接。