1、用石英砂和焦炭高温反應生成工業硅;
2、工業硅加上氯化氫反應生成三氯化硅;
3、將三氯化硅精餾生成高純度三氯化硅;
4、用高純度三氯化硅和高純度氫反應生成多晶硅;
5、多晶硅高温熔融冷卻後生成單晶硅。
如上便是工業制硅的方法。