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EDX原理及圖譜代表了什麼意思

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EDX原理及圖譜代表了什麼意思

EDX又名顯微電子探針,是一種分析物質元素的儀器,常與掃描電鏡或者透射電鏡聯用,在真空室下用電子束轟擊樣品表面,激發物質發射出特徵X射線,由於不同元素原子的能級結構不同,因此產生特徵X射線的特徵不同,據此可對樣品進行定性分析定性分析元素週期表中Be以上的物質元素。不同元素在不同位置出現峰,峰的高低代表元素的相對含量大小。

Tags:EDX 圖譜